Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials
M.R. Oliver
març del 2013 · Springer Series in Materials Science Llibre 69 · Springer Science & Business Media
Llibre electrònic
428
Pàgines
reportNo es verifiquen les puntuacions ni les ressenyes Més informació
Sobre aquest llibre
Chemical Mechanical Planarization (CMP) has emerged in the last two decades and grown rapidly as a basic technology widely used in semiconduc tor device fabrication. As a semiconductor processing step, it was developed at IBM in the mid 1980s. From this beginning the technology has been widely adopted throughout the semiconductor industry. As basic CMP technology has been understood and accepted throughout the semiconductor industry, its uses in different parts of the semiconductor process have multiplied. This includes special steps for some special process ing flows, such as for DRAM technology. In addition, the availability of CMP technology has enabled the implementation of new technologies, with the best example being copper interconnect technology. Copper could not be practi cally implemented into semiconductor process flows until the advent of CMP. Unfortunately, the rapid acceptance and implementation of CMP technol ogy in wafer fabrication has occurred without a corresponding rate of advance in the underlying science. Progress is being made in understanding the un derlying CMP mechanisms, but, in general, it is slow and uneven. The most noteworthy exception to this trend is the science of metal CMP reactions, where the scientific understanding is actually driving much of the advance of the technology. There has been no corresponding progress in other CMP areas however.
Puntua aquest llibre electrònic
Dona'ns la teva opinió.
Informació de lectura
Telèfons intel·ligents i tauletes
Instal·la l'aplicació Google Play Llibres per a Android i per a iPad i iPhone. Aquesta aplicació se sincronitza automàticament amb el compte i et permet llegir llibres en línia o sense connexió a qualsevol lloc.
Ordinadors portàtils i ordinadors de taula
Pots escoltar els audiollibres que has comprat a Google Play amb el navegador web de l'ordinador.
Lectors de llibres electrònics i altres dispositius
Per llegir en dispositius de tinta electrònica, com ara lectors de llibres electrònics Kobo, hauràs de baixar un fitxer i transferir-lo al dispositiu. Segueix les instruccions detallades del Centre d'ajuda per transferir els fitxers a lectors de llibres electrònics compatibles.
