Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials
M.R. Oliver
2013. márc. · Springer Series in Materials Science 69. kötet · Springer Science & Business Media
E-könyv
428
Oldalak száma
reportAz értékelések és vélemények nincsenek ellenőrizve További információ
Információk az e-könyvről
Chemical Mechanical Planarization (CMP) has emerged in the last two decades and grown rapidly as a basic technology widely used in semiconduc tor device fabrication. As a semiconductor processing step, it was developed at IBM in the mid 1980s. From this beginning the technology has been widely adopted throughout the semiconductor industry. As basic CMP technology has been understood and accepted throughout the semiconductor industry, its uses in different parts of the semiconductor process have multiplied. This includes special steps for some special process ing flows, such as for DRAM technology. In addition, the availability of CMP technology has enabled the implementation of new technologies, with the best example being copper interconnect technology. Copper could not be practi cally implemented into semiconductor process flows until the advent of CMP. Unfortunately, the rapid acceptance and implementation of CMP technol ogy in wafer fabrication has occurred without a corresponding rate of advance in the underlying science. Progress is being made in understanding the un derlying CMP mechanisms, but, in general, it is slow and uneven. The most noteworthy exception to this trend is the science of metal CMP reactions, where the scientific understanding is actually driving much of the advance of the technology. There has been no corresponding progress in other CMP areas however.
E-könyv értékelése
Mondd el a véleményedet.
Olvasási információk
Okostelefonok és táblagépek
Telepítsd a Google Play Könyvek alkalmazást Android- vagy iPad/iPhone eszközre. Az alkalmazás automatikusan szinkronizálódik a fiókoddal, így bárhol olvashatsz online és offline állapotban is.
Laptopok és számítógépek
A Google Playen vásárolt hangoskönyveidet a számítógép böngészőjében is meghallgathatod.
E-olvasók és más eszközök
E-tinta alapú eszközökön (például Kobo e-könyv-olvasón) való olvasáshoz le kell tölteni egy fájlt, és átvinni azt a készülékre. A Súgó részletes utasításait követve lehet átvinni a fájlokat a támogatott e-könyv-olvasókra.
