Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials

M.R. Oliver

2013 թ. մրտ · Springer Series in Materials Science Գիրք 69 · Springer Science & Business Media

Էլ. գիրք

428

Էջեր

Գնահատականները և կարծիքները չեն ստուգվում Իմանալ ավելին

Այս էլ․ գրքի մասին

Chemical Mechanical Planarization (CMP) has emerged in the last two decades and grown rapidly as a basic technology widely used in semiconduc tor device fabrication. As a semiconductor processing step, it was developed at IBM in the mid 1980s. From this beginning the technology has been widely adopted throughout the semiconductor industry. As basic CMP technology has been understood and accepted throughout the semiconductor industry, its uses in different parts of the semiconductor process have multiplied. This includes special steps for some special process ing flows, such as for DRAM technology. In addition, the availability of CMP technology has enabled the implementation of new technologies, with the best example being copper interconnect technology. Copper could not be practi cally implemented into semiconductor process flows until the advent of CMP. Unfortunately, the rapid acceptance and implementation of CMP technol ogy in wafer fabrication has occurred without a corresponding rate of advance in the underlying science. Progress is being made in understanding the un derlying CMP mechanisms, but, in general, it is slow and uneven. The most noteworthy exception to this trend is the science of metal CMP reactions, where the scientific understanding is actually driving much of the advance of the technology. There has been no corresponding progress in other CMP areas however.

Գնահատեք էլ․ գիրքը

Կարծիք հայտնեք։

Տեղեկություններ

Սմարթֆոններ և պլանշետներ

Տեղադրեք Google Play Գրքեր հավելվածը Android-ի և iPad/iPhone-ի համար։ Այն ավտոմատ համաժամացվում է ձեր հաշվի հետ և թույլ է տալիս կարդալ առցանց և անցանց ռեժիմներում:

Նոթբուքներ և համակարգիչներ

Դուք կարող եք լսել Google Play-ից գնված աուդիոգրքերը համակարգչի դիտարկիչով:

Գրքեր կարդալու սարքեր

Գրքերը E-ink տեխնոլոգիան աջակցող սարքերով (օր․՝ Kobo էլեկտրոնային ընթերցիչով) կարդալու համար ներբեռնեք ֆայլը և այն փոխանցեք ձեր սարք։ Մանրամասն ցուցումները կարող եք գտնել Օգնության կենտրոնում։

Հաղորդել բովանդակության մասին