Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials

· Springer Series in Materials Science Libri 69 · Springer Science & Business Media
Libër elektronik
428
Faqe
Vlerësimet dhe komentet nuk janë të verifikuara  Mëso më shumë

Rreth këtij libri elektronik

Chemical Mechanical Planarization (CMP) has emerged in the last two decades and grown rapidly as a basic technology widely used in semiconduc tor device fabrication. As a semiconductor processing step, it was developed at IBM in the mid 1980s. From this beginning the technology has been widely adopted throughout the semiconductor industry. As basic CMP technology has been understood and accepted throughout the semiconductor industry, its uses in different parts of the semiconductor process have multiplied. This includes special steps for some special process ing flows, such as for DRAM technology. In addition, the availability of CMP technology has enabled the implementation of new technologies, with the best example being copper interconnect technology. Copper could not be practi cally implemented into semiconductor process flows until the advent of CMP. Unfortunately, the rapid acceptance and implementation of CMP technol ogy in wafer fabrication has occurred without a corresponding rate of advance in the underlying science. Progress is being made in understanding the un derlying CMP mechanisms, but, in general, it is slow and uneven. The most noteworthy exception to this trend is the science of metal CMP reactions, where the scientific understanding is actually driving much of the advance of the technology. There has been no corresponding progress in other CMP areas however.

Vlerëso këtë libër elektronik

Na trego se çfarë mendon.

Informacione për leximin

Telefona inteligjentë dhe tabletë
Instalo aplikacionin "Librat e Google Play" për Android dhe iPad/iPhone. Ai sinkronizohet automatikisht me llogarinë tënde dhe të lejon të lexosh online dhe offline kudo që të ndodhesh.
Laptopë dhe kompjuterë
Mund të dëgjosh librat me audio të blerë në Google Play duke përdorur shfletuesin e uebit të kompjuterit.
Lexuesit elektronikë dhe pajisjet e tjera
Për të lexuar në pajisjet me bojë elektronike si p.sh. lexuesit e librave elektronikë Kobo, do të të duhet të shkarkosh një skedar dhe ta transferosh atë te pajisja jote. Ndiq udhëzimet e detajuara në Qendrën e ndihmës për të transferuar skedarët te lexuesit e mbështetur të librave elektronikë.