Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology
Gerhard Franz
Nis 2009 · Springer Science & Business Media
E-kitap
732
Sayfa
reportPuanlar ve yorumlar doğrulanmaz Daha Fazla Bilgi
Bu e-kitap hakkında
Over the last forty years, plasma supported processes have attracted ever - creasing interest, and now, all modern semiconductor devices undergo at least one plasma-involved processing step, starting from surface cleaning via coating to etching. In total, the range of the treated substrates covers some orders of magnitude: Trenches and linewidths of commercially available devices have - ready passed the boundary of 100 nm, decorative surface treatment will happen 2 in the mm range, and the upper limit is reached with surface protecting layers of windows which are coated with ?/4 layers against IR radiation. The rapid development of the semiconductor industry is inconceivable wi- outthegiantprogressintheplasmatechnology.Moore’slawisnotcarvedinto 1 stone, and not only the ITRS map is subject to change every ?ve years but also new branches develop and others mingle together. Moreover, the quality of conventional materials can be improved by plasma treatment:Cottonbecomesmorecrease-resistant,leathermoredurable,andthe shrinking of wool ?bers during the washing process can be signi?cantly reduced. To cut a long story short: More than 150 years after the discovery of the sputtering e?ect by Grove, plasma-based processes are about to spread out into new ?elds of research and application [1]—no wonder that the market for etching machines kept growing by an annual rate of 17 % up to the burst of the internet bubble, and it took only some years of recovery to continue the voyage [2].
Bu e-kitaba puan verin
Düşüncelerinizi bizimle paylaşın.
Okuma bilgileri
Akıllı telefonlar ve tabletler
Android ve iPad/iPhone için Google Play Kitaplar uygulamasını yükleyin. Bu uygulama, hesabınızla otomatik olarak senkronize olur ve nerede olursanız olun çevrimiçi veya çevrimdışı olarak okumanıza olanak sağlar.
Dizüstü bilgisayarlar ve masaüstü bilgisayarlar
Bilgisayarınızın web tarayıcısını kullanarak Google Play'de satın alınan sesli kitapları dinleyebilirsiniz.
e-Okuyucular ve diğer cihazlar
Kobo eReader gibi e-mürekkep cihazlarında okumak için dosyayı indirip cihazınıza aktarmanız gerekir. Dosyaları desteklenen e-kitap okuyuculara aktarmak için lütfen ayrıntılı Yardım Merkezi talimatlarını uygulayın.
