Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication

· Springer Series in Materials Science Bog 24 · Springer Science & Business Media
E-bog
216
Sider
Bedømmelser og anmeldelser verificeres ikke  Få flere oplysninger

Om denne e-bog

Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication treats the transition-metal impurities generated during silicon sample and device fabrication. The different mechanisms responsible for contamination are discussed, and a survey given of their impact on device performance. The specific properties of main and rare impurities in silicon are examined, as well as the detection methods and requirements in modern technology. Finally, impurity gettering is studied along with modern techniques to determine gettering efficiency. In all of these subjects, reliable and up-to-date data are presented. The monograph provides a thorough review of the results of recent scientific investigations, as well as of the relevant data and properties of the various metal impurities in silicon.

Bedøm denne e-bog

Fortæl os, hvad du mener.

Oplysninger om læsning

Smartphones og tablets
Installer appen Google Play Bøger til Android og iPad/iPhone. Den synkroniserer automatisk med din konto og giver dig mulighed for at læse online eller offline, uanset hvor du er.
Bærbare og stationære computere
Du kan høre lydbøger, du har købt i Google Play via browseren på din computer.
e-læsere og andre enheder
Hvis du vil læse på e-ink-enheder som f.eks. Kobo-e-læsere, skal du downloade en fil og overføre den til din enhed. Følg den detaljerede vejledning i Hjælp for at overføre filerne til understøttede e-læsere.