Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications
Hiroyuki Fujiwara
سبتمبر 2007 · John Wiley & Sons
5.0star
مراجعة واحدةreport
كتاب إلكتروني
392
صفحة
reportلم يتم التحقّق من التقييمات والمراجعات. مزيد من المعلومات
معلومات عن هذا الكتاب الإلكتروني
Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE). Beginning with an overview of SE technologies the text moves on to focus on the data analysis of results obtained from SE, Fundamental data analyses, principles and physical backgrounds and the various materials used in different fields from LSI industry to biotechnology are described. The final chapter describes the latest developments of real-time monitoring and process control which have attracted significant attention in various scientific and industrial fields.
التقييمات والتعليقات
5.0
مراجعة واحدة
نبذة عن المؤلف
Dr Hiroyuki Fujiwara is based at the National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Ibaraki, Japan. He received his PhD at the Tokyo Institute of Technology in 1996 and carried out post-doctoral research with Professor R.W. Collins at Penn State University. From 1998 to present he has been working as a senior research scientist at the Research Center for Photovoltaics at NIAIST. He received the 'Most Promising Young Scientist Award' from the Japan Society of Applied Physics and the 'Young Researcher Award' at the World Conference on Photovoltaic Energy Conversion in 2003.
تقييم هذا الكتاب الإلكتروني
أخبرنا ما هو رأيك.
معلومات القراءة
الهواتف الذكية والأجهزة اللوحية
ينبغي تثبيت تطبيق كتب Google Play لنظام التشغيل Android وiPad/iPhone. يعمل هذا التطبيق على إجراء مزامنة تلقائية مع حسابك ويتيح لك القراءة أثناء الاتصال بالإنترنت أو بلا اتصال بالإنترنت أينما كنت.
أجهزة الكمبيوتر المحمول وأجهزة الكمبيوتر
يمكنك الاستماع إلى الكتب المسموعة التي تم شراؤها على Google Play باستخدام متصفح الويب على جهاز الكمبيوتر.
أجهزة القراءة الإلكترونية والأجهزة الأخرى
للقراءة على أجهزة الحبر الإلكتروني، مثل أجهزة القارئ الإلكتروني Kobo، عليك تنزيل ملف ونقله إلى جهازك. يُرجى اتّباع التعليمات المفصّلة في مركز المساعدة لتتمكّن من نقل الملفات إلى أجهزة القارئ الإلكتروني المتوافقة.
